特許
J-GLOBAL ID：200903006581706085
レーザ加工機
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
服部 毅巖
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-342077
公開番号（公開出願番号）：特開平6-182574
出願日： 1992年12月22日
公開日（公表日）： 1994年07月05日
要約：
【要約】【目的】 レーザビームの強度分布を全体的に均一化し、周辺部の強度分布の鋭さも保持することにより、高精度のレーザ加工を行なえるようにする。【構成】 レーザ発振器1から出射したレーザビーム10は、位相分布板2、ビーム強度変換手段3を経由した後、結像レンズ4で縮小結像されてレーザビーム11として被加工物5に照射される。位相分布板2は、透明な平行平面型基板であり、回転機構20によって回転可能に設けられている。位相分布板2のビーム照射面は、多数の格子に分割され、透過光の位相を(2n+1)・πだけシフトさせるコートを塗布した格子と、塗布しない格子とが同面積にかつランダムに配置されている。レーザビーム10に位相分布板2を透過させると共に、その位相分布板2を回転させると、レーザビーム11の位相分布はランダム化し、その結果、干渉によるビーム強度の極大・極小を時間的に平均化することができる。したがって、強度分布は全体的に均一化し、周辺部での強度分布も鋭さを保持でき、均一性の良い高精度の加工や表面処理を行なえる。
請求項（抜粋）：
レーザ発振器より出射したレーザビームの強度分布をビーム強度変換手段を用いて均一化した後被加工物に照射するレーザ加工機において、前記レーザビームの光路中に設けられ前記レーザビームに位相分布を与える位相分布手段と、前記位相分布手段のビーム照射面に垂直な軸を回転軸として前記位相分布手段を回転させる回転手段と、を有することを特徴とするレーザ加工機。
引用特許：
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