光結像装置

発明者： , , ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：松岡修平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-037267
公開番号（公開出願番号）：特開平9-211277
出願日： 1996年01月31日
公開日（公表日）： 1997年08月15日
要約：

【要約】【課題】半導体レーザーから発した光束の一部が光ファイバーの入射端面で反射して半導体レーザーに戻ると、半導体レーザーの発振モードが単一モードから多モードに変化するため、スポット径が増加し、描画精度か劣化する。【解決手段】半導体レーザー101から発した光束を光ファイバー121を用いてfθレンズ190に導き、少なくともfθレンズ190の軸外位置に光ファイバーから射出する光束によりスポットを形成する光結像装置において、半導体レーザー101の発光モードの変化による軸外の結像位置での倍率色収差の発生を抑えるために、光ファイバー121の入射端面121aを半導体レーザー101からの光束の中心軸に直交する面に対して傾斜させたことを特徴とする。

請求項（抜粋）：

半導体レーザーから発した光束を光ファイバーを用いて結像光学系に導き、少なくとも前記結像光学系の軸外位置に前記光ファイバーから射出する光束によりスポットを形成する光結像装置において、前記半導体レーザーの発光モードの変化による前記軸外の結像位置での倍率色収差の発生を抑えるために、前記光ファイバーからの反射光が前記半導体レーザーに戻ることを阻止する阻止機能を有することを特徴とする光結像装置。

IPC (3件)：

G02B 6/42 , G02B 26/10 , H01S 3/18

FI (3件)：

G02B 6/42 , G02B 26/10 B , H01S 3/18

引用特許：

審査官引用 (5件)

特開平2-244022
特開昭63-084185
特開昭55-164803

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