特許

J-GLOBAL ID：200903006590279610

レプリカ回折格子

発明者： 東南 義貴
出願人/特許権者： 株式会社島津製作所
代理人 (1件)： 西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-030273
公開番号（公開出願番号）：特開平7-239407
出願日： 1994年02月28日
公開日（公表日）： 1995年09月12日
要約：

【要約】【目的】 長寿命型のレプリカ回折格子を提供することを目的とする。【構成】 マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させる。そして、前記反転接着させた金属薄膜の表面にシリコングリースなどの化学的に不活性な保護層を設ける。

請求項（抜粋）：

マスター回折格子の格子面に金属薄膜を形成し、該金属薄膜とレプリカ基板とを接着剤を介して圧接した後剥離させ、該金属薄膜をレプリカ基板に反転接着させてなるレプリカ回折格子において、前記反転接着させた金属薄膜の表面に化学的に不活性な保護層を設けたことを特徴とするレプリカ回折格子。