特許
J-GLOBAL ID：200903006595588247
半導体欠陥用のパワー・アシスト自動監視分類器作製ツール
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
社本 一夫 (外5名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-541837
公開番号（公開出願番号）：特表2003-515942
出願日： 2000年11月29日
公開日（公表日）： 2003年05月07日
要約：
【要約】ユーザが、画像の特徴に基づいて自然なグルーピングによって編成された画像欠陥を見ることを任意選択で可能する方法およびシステムである。自然なグルーピングは、ユーザが、画像のいくつかまたは全てを、画像のトレーニング・セットにおけるクラスに編成することをより容易にする。特徴ベクトルがトレーニング・セットにおける各画像から抽出されて、自動分類器ソフトウェア・モジュールによる使用のために、そのユーザ指定クラスと共に記憶される。自動分類器は記憶された特徴ベクトルおよびクラスを用いて、トレーニング・セットにはない画像を自動的に分類する。自動的に分類された画像が、ユーザによって手動で分類された画像と一致しない場合には、ユーザは、自動分類器からよりよい結果が得られるまで、トレーニング・セットを修正する。システムはフィードバックを、検査システムのセットアップおよび微調整を支援するように設計された検査システムに提供することができる。
請求項（抜粋）：
複数の受信画像を分類するデータ処理システムによって実施される方法であって、 前記複数の画像のユーザ選択サブセットであるトレーニング・セットから特徴を抽出することであって、前記トレーニング・セットの各画像が連づけられたクラスを有すること、 前記データ処理システムによって、前記トレーニング・セットの抽出された特徴およびクラスに従って前記複数の画像のうち少なくとも1つを分類すること、 ユーザが前記複数の画像のうち1つを分類することを可能にすること、および 前記データ処理システムによる分類とユーザによる分類との間の比較の結果を表示すること、 を含む方法。
FI (2件)：
H01L 21/66 Z
, H01L 21/66 J
