特許

J-GLOBAL ID：200903006598011358

ダイシング装置及びダイシングシステム

発明者： 関家 一馬
出願人/特許権者： 株式会社ディスコ
代理人 (1件)： 秋元 輝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-180555
公開番号（公開出願番号）：特開平9-007977
出願日： 1995年06月26日
公開日（公表日）： 1997年01月10日
要約：

【要約】【目的】 ID記号を読み取る機能とバーコード等の識別表示を読み取る機能の両方を兼備したダイシング装置及びダイシングシステムを提供する。【構成】 テープを介してフレームに配設されたウェーハをダイシングするダイシング装置において、ウェーハにはウェーハID記号が形成されており、フレーム又はテープには他と識別するための識別表示が形成されていて、ダイシング装置にはID記号を検出するID記号検出手段、及び識別表示を検出する識別表示検出手段が配設される。ウェーハをダイシングする前に、ID記号をID記号検出手段で検出すると共に識別表示を識別表示検出手段で検出し、CPUのウェーハに関する情報と識別表示とを連結する。

請求項（抜粋）：

テープを介してフレームに配設されたウェーハをダイシングするダイシング装置において、前記ウェーハにはウェーハID記号が形成されており、前記フレーム又はテープには他と識別するための識別表示が形成されていて、前記ダイシング装置にはID記号を検出するID記号検出手段、及び識別表示を検出する識別表示検出手段が配設されているダイシング装置。

IPC (3件)：

H01L 21/301 ,  H01L 21/02 ,  H01L 21/68

FI (3件)：

H01L 21/78 Z ,  H01L 21/02 A ,  H01L 21/68 F

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭60-100450
  
• 特開昭60-100450