圧電素子および圧電素子を用いた力センサならびに力センサを用いた流量計

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (2件)：牧村浩次 , 高畑ちより
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2008-147958
公開番号（公開出願番号）：特開2009-295788
出願日： 2008年06月05日
公開日（公表日）： 2009年12月17日
要約：

【課題】本発明は、パラレル型バイモルフ素子のように高出力を得、かつシリーズ型バイモルフ素子のように差動アンプ回路での同相ノイズの除去が容易な、圧電素子を提供する。【解決手段】複数の電極層と圧電体とから構成される2つの積層体の間に、絶縁性の材料からなるシム材を挟んで固着することで、電荷の取り出し面を広く確保する。また、侵入したノイズが電気的に2個の極性間で等しくなるような電極構造とする。【選択図】図1-A

請求項（抜粋）：

2つの積層体と当該2つの積層体の主面間に挟まれて固着されるシム材とから構成される圧電素子であって、前記シム材は絶縁性の材料からなり、前記積層体は、少なくとも1つ以上の圧電体と、当該圧電体の両主面を挟持するように電極層が積層して構成され、前記シム材が前記2つの積層体に挟まれて固着された状態において、圧電体またはシム材を介して隣り合って対向する電極層の電気的極性が各々逆となるように、前記圧電体が配置されていることを特徴とする圧電素子。

IPC (6件)：

H01L 41/09 , G01L 1/16 , G01F 1/32 , H01L 41/18 , H01L 41/187 , H01L 41/193

FI (8件)：

H01L41/08 M , G01L1/16 C , G01F1/32 M , H01L41/18 101A , H01L41/18 101B , H01L41/18 101C , H01L41/18 101D , H01L41/18 102

引用特許：

出願人引用 (8件)

渦流量計の入力回路
公報種別：公開公報出願番号：特願平10-061122 出願人：横河電機株式会社
特開平4-346034号広報
特開昭59-019383

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審査官引用 (9件)

特開昭59-019383
特開昭59-019383
特開平4-245488

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