特許

J-GLOBAL ID：200903006607655573

重ね合わせ検査装置

発明者： 有馬 洋文
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 大西 正悟
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-369013
公開番号（公開出願番号）：特開2003-166809
出願日： 2001年12月03日
公開日（公表日）： 2003年06月13日
要約：

【要約】【課題】 使用される環境の温度が変化しても検査精度が低下することのない構成の重ね合わせ検査装置を提供する。【解決手段】 ウエハW上に形成された重ね合わせ検査マークを拡大観察する顕微鏡光学系20と、この顕微鏡光学系20により拡大観察された重ね合わせ検査マークを撮像するCCDカメラ30と、これら顕微鏡光学系20及びCCDカメラ30が内部に設置された内壁41及びこの内壁41の外方を囲む外壁42からなる二重構造のケース40と、両壁41,42の間に形成された空間43内の空気を冷却する空気冷却手段(送気ファン47及び排気ファン48)と、CCDカメラ30内の熱を吸収して上記空間43内に放出させる第1の熱電冷却素子61と、内壁41内の温度を検出する温度センサ62と、この温度センサ62により検出された内壁41内の温度に基づいて上記第1の熱電冷却素子61による熱電冷却作用の制御を行う温度環境制御装置60とを備える。

請求項（抜粋）：

基板上に形成された重ね合わせ検査マークを拡大観察する顕微鏡光学系と、前記顕微鏡光学系により拡大観察された前記重ね合わせ検査マークを撮像する撮像手段とを有し、前記撮像手段により撮像して得られた前記重ね合わせ検査マークの画像に基づいて前記基板上に形成された回路パターンの重ね合わせ精度を検査する重ね合わせ検査装置において、前記顕微鏡光学系及び前記撮像手段が内部に設置された内壁及びこの内壁の外方を囲む外壁からなる二重構造のケースと、前記内壁と前記外壁との間に形成された空間内の空気を冷却する空気冷却手段と、前記撮像手段内の熱を吸収して前記空間内に放出させる熱電冷却素子と、前記内壁内の温度を検出する温度検出手段と、前記温度検出手段により検出された前記内壁内の温度に基づいて前記熱電冷却素子による前記冷却作用の制御を行う制御手段とを有したことを特徴とする重ね合わせ検査装置。

IPC (3件)：

G01B 11/00 ,  H01L 21/027 ,  H01L 21/66

FI (3件)：

G01B 11/00 H ,  H01L 21/66 P ,  H01L 21/30 502 V

Fターム (22件)：

2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA17 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC19 ,  2F065DD04 ,  2F065EE02 ,  2F065FF04 ,  2F065FF67 ,  2F065JJ03 ,  2F065JJ26 ,  2F065LL00 ,  2F065PP12 ,  2F065PP24 ,  2F065QQ25 ,  2F065QQ28 ,  2F065QQ31 ,  4M106AA01 ,  4M106CA50 ,  4M106DB30