タッチ検知装置及びその製造方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：杉村暁秀 (外6名)
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-531576
公開番号（公開出願番号）：特表平10-505941
出願日： 1996年03月11日
公開日（公表日）： 1998年06月09日
要約：

【要約】タッチ検知装置は個別に動作可能な複数のタッチ検知素子(10)を具え、これらタッチ検知素子は互いに重なり合うと共に離間した第1及び第2の導電層(12,15)を有し、第2の導電層(15)はタッチ入力に応じて第1の導電層に向けて変位可能である。このタッチ検知装置は支持部材上(14)上に薄膜多層構造体を形成することにより作られ、この薄膜多層構造体は第1及び第2の導電層とこれら導電層間に形成した絶縁層(16)とを有し、第2導電層(15)には予め定めた区域に開口が形成されている。この構造体はエッチング処理され、前記開口を介して導電層間の絶縁材料が除去されてギャップ(19)が形成され、各区域の第2導電層は区域の周囲の絶縁層により第1の導電層(12)から離間するように支持される。このタッチ検知装置は例えばキーボードとして用いられ、又は行及び列のマトリックス状に配置した多数のと共に図形タブレット又は表示オーバレイとして用いられ、針により動作する。この装置は液晶表示パネルと一体化することができ、パネルの支持基板を支持部材(14)として用いることができる。

請求項（抜粋）：

複数のタッチ検知素子を有し、各タッチ検知素子が、共通の支持部材に支持され互いに重なり合う第1及び第2の導電層を具え、第2の導電層が第1の導電層から離間すると共にタッチ入力に応じて第1の導電層に向けて変位可能なタッチ検知装置を製造するに際し、第1の導電性材料層と、この第1の導電性材料層上に延在する絶縁材料層と、この絶縁材料層上に延在する第2の導電性材料層とを具え、貫通する開口が予め定めた区域に形成されている多層薄膜構造体を形成し、エッチング処理を行って、前記各区域の開口を介して前記区域の第1の導層層と第2の導電層との間の絶縁材料層の一部を除去し、第2の導電層を第1の導電層の上側に延在する共に前記区域の周囲に延在する絶縁材料層により第1の導電層から離間するように支持して各区域にタッチ検知素子を形成することを特徴とするタッチ検知装置の製造方法。

IPC (4件)：

H01H 13/76 , G06F 3/033 , H01H 13/70 , H03K 17/96

FI (4件)：

H01H 13/76 D , G06F 3/033 A , H01H 13/70 E , H03K 17/96 A

引用特許：

審査官引用 (1件)

タッチパネル
公報種別：公開公報出願番号：特願平5-217867 出願人：グンゼ株式会社

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