特許
J-GLOBAL ID：200903006615287818
ワーク支持装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-054867
公開番号（公開出願番号）：特開平9-246364
出願日： 1996年03月12日
公開日（公表日）： 1997年09月19日
要約：
【要約】【課題】 簡素な構成でワークの形状を変形することなく、ワークを把持することができるワーク支持装置を提供することにある。【解決手段】 ハウジング41に形成した多数の収容孔42に往復動可能にそれぞれ貫通した可動ロッド43の先端部に吸着体44を連結する。可動ロッド43には第1〜第4の大径部46,47,48,49を形成するとともに、第1〜第3の小径部50,51,52と対応して設けた第1〜第3の圧力室53,54,55のうち第1,2圧力室53,54に圧力空気を供給して可動ロッド43を静圧により保持する。この状態で第3圧力室55を負圧力に切り換えると、吸着体44に設けた絞り62及びロッド43に形成した連通路61を通して空気が吸引され、ワークとしての基板18の側面に吸着体44の吸着面441が吸着される。
請求項（抜粋）：
ハウジングに互いに平行に形成した多数の収容孔に往復動可能に挿入された多数の可動ロッドと、前記各可動ロッドの先端部にそれぞれ設けられ、ワークを吸着する吸着体と、前記各吸着体をワークを変形させることなくその一側面の形状に倣うように移動させる倣い手段と、前記各吸着体がワークの一側面に吸着された状態で、ハウジングに対して各可動ロッドを固定する固定手段とを備えたことを特徴とするワーク支持装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
H01L 21/68 P
, B23Q 3/08 A
