特許

J-GLOBAL ID：200903006632056978

リニアパルスモータ、ステージ装置及び露光装置

発明者： 内田 真司
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-206499
公開番号（公開出願番号）：特開2003-023764
出願日： 2001年07月06日
公開日（公表日）： 2003年01月24日
要約：

【要約】【課題】 リニアパルスモータの磁気回路を改善し、高推力で高効率にする。【解決手段】 1次側極歯15a1等に対し空隙を設けて一方向に並列した複数個の凸状の2次側極歯12aを2次側磁性部で連結してなる2次側部材19を備え、第1の1次側極歯15a1と、該第1の1次側極歯から相対的に前記一方向にピッチPだけずれて位置する第2の1次側極歯15a2と、前記第1及び第2の1次側極歯を連結する第1の1次側磁性部13aと、第1の1次側磁性部13aに巻回されたコイル14aとで励磁ユニット16aを形成し、1次側部材18には相対的に前記一方向へP/4ずつ大きくずれ非磁性部17を介して配置される4個の励磁ユニット16a〜16dを含む励磁ユニット群を有し、1次側部材18及び2次側部材19が前記一方向に相対的に移動可能に支持されている。

請求項（抜粋）：

一方向に並列した複数個の凸状の1次側極歯を連結する1次側磁性部にコイルを巻回してなる1次側部材と、前記1次側極歯に対し空隙を設けて前記一方向に並列した複数個の凸状の2次側極歯を2次側磁性部で連結してなる2次側部材とを備え、前記コイルに通電させることによって前記1次側部材と前記2次側部材とを前記一方向に沿って相対移動させるリニアパルスモータにおいて、第1の1次側極歯と、前記第1の1次側極歯から相対的に前記一方向にピッチPだけずれて位置する第2の1次側極歯と、前記第1及び第2の1次側極歯を連結する第1の1次側磁性部と、前記第1の1次側磁性部に巻回されたコイルとで励磁ユニットを形成し、前記1次側部材にはnを3以上の整数として相対的に前記一方向へP/nずつずれて配置されるn個の前記励磁ユニットを含む励磁ユニット群を有し、前記1次側部材及び2次側部材が前記一方向に相対的に移動可能に支持されていることを特徴とするリニアパルスモータ。

IPC (3件)：

H02K 41/03 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (4件)：

H02K 41/03 B ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 503 B ,  H01L 21/30 502 G

Fターム (11件)：

5F046AA28 ,  5F046CC01 ,  5F046CC19 ,  5H641BB10 ,  5H641BB15 ,  5H641BB16 ,  5H641BB18 ,  5H641GG03 ,  5H641HH03 ,  5H641HH08 ,  5H641HH10