特許
J-GLOBAL ID：200903006634285532
太陽電池用柱状粒子を有する多結晶シートとその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
八田 幹雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-254517
公開番号（公開出願番号）：特開平6-342923
出願日： 1993年10月12日
公開日（公表日）： 1994年12月13日
要約：
【要約】【目的】 高い変換効率を有する太陽電池に使用される、低い残留熱応力を有し柱状結晶粒子を有するシート材を製造するための低コスト製造方法を提供すること。【構成】 シート(600)は、粒状シリコン(200)と、該粒状シリコンが被覆され、該粒状シリコンを支持するセッタ(100)と剥離材層(110)とから構成され、該セッタ(110)と該粒状シリコン(200)を予熱する予熱領域と、熱プロフィルを有し核を発生し結晶を成長させる溶融領域(300)と、柱状成長を促進する熱プロフィルを有し不純物は前記シートの上部表面に分離される成長領域(400)と、セッタ(110)の移動方向に沿う線形の温度勾配を有し、前記成長シートの低応力の発生を伴う冷却を容易に行えるアニール領域(500)とを有することを特徴とする太陽電池用柱状粒子を有する多結晶シートの製造方法。
請求項（抜粋）：
太陽電池の基板として機能するシートは、粒状シリコンと、該粒状シリコンが被覆され、該粒状シリコンを支持するセッタとから構成され、該セッタと該粒状シリコンを予熱する予熱領域と、該セッタと該粒状シリコンが移送され、上部から下方に向けての前記粒状シリコンの溶融を引き起こす熱プロフィルを有し、粒状シリコン深さの25〜90%が溶融し、下方の半溶融シリコンがネットとして機能し、前記溶融シリコンを安定化し、該溶融シリコンと下部に設けられている前記セッタと剥離層との接触を最小化し、核を発生し結晶を成長させる溶融領域と、前記半溶融シリコンネット上の溶融シリコンプールが移送され、前記半溶融シリコンネットから上方の前記セッタのプレーンに対しほぼ垂直な方向に、柱状成長を促進する熱プロフィルを有し、前記溶融シリコンと成長している多結晶層は共存しており、半溶融している背面への残留ガスの除去と同様に、不純物は前記シートの上部表面に分離される成長領域と、前記成長シートが移送され、前記セッタの移動方向に沿う線形の温度勾配を有し、前記成長シートの低応力の発生を伴う冷却を容易に行えるアニール領域とを有しており、前記セッタからの前記多結晶シートの取り外しが剥離材により容易に行え、そして、前記セッタを再使用することを特徴とする太陽電池用柱状粒子を有する多結晶シートの製造方法。
FI (3件)：
H01L 31/04 A
, H01L 31/04 H
, H01L 31/04 X
