特許
J-GLOBAL ID：200903006652041942
元素分析装置
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
西岡 義明
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-009751
公開番号（公開出願番号）：特開平7-220675
出願日： 1994年01月31日
公開日（公表日）： 1995年08月18日
要約：
【要約】【目的】 イオン流がスキマーコーンの先端部に与える損傷、汚染等をできるだけ軽減し、長期間スキマーコーンの交換を行うことなく高精度の分析結果を維持できる元素分析装置を提供する。【構成】 プラズマコーン20から発生したイオン流Inはサンプリングコーン21aから第1の真空室Aに侵入する。制御手段1は、質量分析部25から分析中或いは非分析中であるかの信号を受け、非分析時であると判断した場合にはスイッチ11dをONにして上部電極11aと下部電極11a’間に電位差を与える。このとき、侵入したイオン流Inのうち正イオンは下方に、また負イオンは上方に力を受けるためスキマーコーン21bの先端部へのイオン流の衝突を阻止することができる。一方、制御手段1は分析時であると判断した場合は、スイッチ11dをOFFにするため、イオン流Inはそのまま直進して、スキマーコーン21bから質量分析部25に供給される。
請求項（抜粋）：
エネルギーを与えることで試料から放出したイオンをサンプリングコーンとスキマーコーンからなるイオン導入部より導入し、導入したイオンの物理的化学的性質を解析することにより前記試料を構成する元素の定量・定性分析等を行う元素分析装置において、前記スキマーコーンの先端部にイオンが衝突するのを阻止するためのイオン衝突回避手段と、元素の非分析時にのみ前記回避手段を作動させる制御手段と、を備えたことを特徴とする元素分析装置。
IPC (3件)：
H01J 49/10
, G01N 27/62
, H01J 49/06
