特許

J-GLOBAL ID：200903006654148175

ワイヤボンダー用ボール形成装置及びその方法

発明者： 浦 正直
出願人/特許権者： 浦 正直
代理人 (1件)： 羽切 正治
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-194990
公開番号（公開出願番号）：特開平5-036749
出願日： 1991年07月10日
公開日（公表日）： 1993年02月12日
要約：

【要約】【目的】 電極間距離が変化しても、その変化に伴う電極間電圧の変化を帰還させ、ワイヤと放電電極との間に流れる電流と電流を流す時間の双方若しくはどちらか一方を制御することによって、電極間距離が変化しても、ボール形成に必要なエネルギーを確保することによって、形成されるボールの径を均一化する。【構成】 電源回路1と、電流制御開閉器10と、時間制御器12と、安定器5とを備え、時間制御器12の指令により放電を開始した後、電極間電圧Vの変化を帰還させ、ワイヤ7と放電電極9間に流れる電流と電流を流す時間の双方若しくはそのどちらか一方を制御することにより、電極間距離Sが変化しても形成されるボールの径を均一化することができるようにした。

請求項（抜粋）：

キャピラリ先端から突出したワイヤの先端と放電電極との間に高電圧を印加することにより放電を起こさせ、その放電エネルギーによりワイヤの先端部を溶融してボールを形成するワイヤボンダー用ボール形成装置であって、電源回路と、スイッチング制御により電流の制御を行う電流制御開閉器と、該電流制御開閉器の電流を流す時間を制御する時間制御器と、前記電流制御開閉器と接続された安定器とを備え、前記時間制御器が作動して放電が開始された後、電極間電圧の変化を帰還させ、前記ワイヤと放電電極間に流れる電流と電流を流す時間の双方若しくはそのどちらか一方を制御することにより、電極間距離が変化しても形成されるボールの径を均一化することができるようにしたことを特徴とするワイヤボンダー用ボール形成装置。

引用特許：

審査官引用 (3件)

• 特開昭60-039840
  
• 特開平2-045944
  
• 特開昭60-239034