特許
J-GLOBAL ID:200903006657869973
カーボンナノチューブを用いた電子放出源、電子放出素子、探針及びそれらの製造方法
発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件):
岩谷 龍
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2002-290128
公開番号(公開出願番号):特開2004-127713
出願日: 2002年10月02日
公開日(公表日): 2004年04月22日
要約:
【課 題】導電性物質又は絶縁層の表面から突出したカーボンナノチューブ先端までの距離にばらつきのない、カーボンナノチューブと支持物質との密着強度に優れた電子放出源、探針及びその製造方法の提供。【解決手段】導電性物質とカーボンナノチューブとの積層構造を有する積層体からなる電子放出源前駆体を加工して得られることを特徴とする、すくなくとも導電性物質とカーボンナノチューブからなり、前記カーボンナノチューブが前記導電性物質に埋め込まれ、前記カーボンナノチューブの先端が前記導電性物質から突出している構造を有する電子放出源。【選択図】 なし
請求項(抜粋):
導電性物質とカーボンナノチューブとの積層構造を有する積層体からなる電子放出源前駆体を加工して得られることを特徴とする、すくなくとも導電性物質とカーボンナノチューブからなり、前記カーボンナノチューブが前記導電性物質に埋め込まれ、前記カーボンナノチューブの先端が前記導電性物質から突出している構造を有する電子放出源。
IPC (5件):
H01J1/304
, B81B1/00
, B81C5/00
, B82B1/00
, H01J9/02
FI (5件):
H01J1/30 F
, B81B1/00
, B81C5/00
, B82B1/00
, H01J9/02 B
Fターム (31件):
5C127BA09
, 5C127BA10
, 5C127BA13
, 5C127BA15
, 5C127BB02
, 5C127BB07
, 5C127CC03
, 5C127CC09
, 5C127CC10
, 5C127DD22
, 5C127DD38
, 5C127DD39
, 5C127DD52
, 5C127DD69
, 5C127DD72
, 5C127DD87
, 5C127DD90
, 5C127EE04
, 5C127EE16
, 5C127EE17
, 5C135AA09
, 5C135AA10
, 5C135AA13
, 5C135AA15
, 5C135AB07
, 5C135AC03
, 5C135AC25
, 5C135AC29
, 5C135HH04
, 5C135HH16
, 5C135HH17
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