特許

J-GLOBAL ID：200903006660537701

窒化アルミニウム薄膜-金属電極積層体およびそれを用いた薄膜圧電共振子

発明者： 山田 哲夫 ,  長尾 圭吾 ,  橋本 智仙
出願人/特許権者： 宇部エレクトロニクス株式会社
代理人 (1件)： 山下 穣平
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2001-394388
公開番号（公開出願番号）：特開2003-198319
出願日： 2001年12月26日
公開日（公表日）： 2003年07月11日
要約：

【要約】【課題】 電気機械結合係数が大きく、音響的品質係数(Q値)、帯域幅、周波数温度特性に優れた薄膜圧電共振子を提供する。【解決手段】 基板12のビアホール20に面する位置にて絶縁体層13を介して下部電極15、c軸配向AlN圧電体薄膜16および上部電極17がこの順に積層された圧電積層構造体14を備える。下部電極15はモリブデン及びタングステンなどの体心立方構造を有する第1の金属層とイリジウム、白金及び金などの面心立方構造を有する第2の金属層との積層を含む2以上の金属層から構成されており、第1の金属層の厚さが下部電極15の厚さの0.5倍以上である。第1の金属層の(110)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が4.5°未満であり、AlN圧電体薄膜16の(0002)回折ピークのロッキング・カーブ半値幅(FWHM)が3.3°未満である。

請求項（抜粋）：

金属電極と該金属電極の上に少なくとも一部が形成されたc軸配向を示す窒化アルミニウム薄膜との積層体であって、前記金属電極が体心立方構造を有する第1の金属層と面心立方構造を有する第2の金属層との積層を含む2以上の金属層から構成されており、前記第1の金属層の厚さが前記金属電極の厚さの0.5倍以上であることを特徴とする窒化アルミニウム薄膜-金属電極積層体。

IPC (2件)：

H03H 9/17 ,  H01L 41/09

FI (2件)：

H03H 9/17 F ,  H01L 41/08 M

Fターム (6件)：

5J108AA07 ,  5J108EE03 ,  5J108FF03 ,  5J108FF05 ,  5J108KK01 ,  5J108KK02