特許

J-GLOBAL ID：200903006663806312

円形薄板のエッジ研削装置

発明者： 西 健一朗 ,  温井 満 ,  村井 史朗 ,  高田 道浩
出願人/特許権者： 株式会社日平トヤマ
代理人 (1件)： 恩田 博宣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平11-092113
公開番号（公開出願番号）：特開2000-288886
出願日： 1999年03月31日
公開日（公表日）： 2000年10月17日
要約：

【要約】【課題】 砥石の研削作用面が摩耗しても形崩れせず、砥石の研削作用面を頻繁にツルーイングしなくても、ウェーハの外周縁の研削精度を維持することができるウェーハのエッジ研削装置を提供する。【解決手段】 ウェーハの外周縁を荒研削する荒研削用砥石72と、その荒研削後に仕上げ研削する仕上げ研削用砥石73とを備える。荒研削砥石を総形の第1荒研削用砥石と円板形状の第2荒研削砥石より構成する。

請求項（抜粋）：

円形薄板の外周縁を、荒研削用砥石によって荒研削した後、仕上研削用砥石によって仕上研削する様にした円形薄板のエッジ研削装置に於いて、前記荒研削用砥石は第1荒研削を行う第1荒研削用砥石と第2荒研削を行う第2荒研削用砥石とからなり、第1荒研削用砥石を総形砥石により構成した円形薄板のエッジ研削装置。

Fターム (10件)：

3C049AA03 ,  3C049AA11 ,  3C049AA13 ,  3C049AA16 ,  3C049AA18 ,  3C049AB06 ,  3C049BB02 ,  3C049BB06 ,  3C049CA01 ,  3C049CB01