特許

J-GLOBAL ID：200903006664416658

光ファイバ案内構造物及びその製造方法

発明者： 山田 厚
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
代理人 (1件)： 篠原 泰司
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-229457
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181331
出願日： 1994年09月26日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 寸法精度が優れ、接続損失が小さく、軸合わせ、位置合わせの簡単な産業用光ファイバ案内構造物及びその製造方法を提供する。【構成】 基板面の板面方位が(110)のシリコン単結晶基板1上にエッチング停止層2,シリコンエピタキシャル膜3,酸化シリコンのマスク層4を順に形成し、マスク層の上にフォトレジスト5を塗布後、露光、エッチング及びはく離の工程を経て、長手方向がシリコン単結晶基板の(111)面に平行な複数の矩形溝7を有する矩形溝基板8を製造する。

請求項（抜粋）：

シリコン単結晶層を表面又はその近傍に有する基板の面上に、前記シリコン単結晶表面層の(111)面に平行に切られた複数の溝を有し、その溝の底面がその基板の表面下に埋め込まれた高濃度p型拡散層、酸化シリコン層、又は酸化シリコン層の下層を形成するシリコン層により形成されていることを特徴とする、光ファイバ案内構造物。

IPC (3件)：

G02B 6/00 346 ,  G02B 6/26 ,  G02B 6/42

引用特許：

審査官引用 (4件)

• 多芯光コネクタフエルール
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平3-037940   出願人：株式会社東北中谷
• 特開昭63-076485
  
• 特開平3-012972
  
• 特開昭54-088141