特許
J-GLOBAL ID:200903006665750730

変角光度測定方法およびその装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 花輪 義男
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願2001-354543
公開番号(公開出願番号):特開2003-156393
出願日: 2001年11月20日
公開日(公表日): 2003年05月30日
要約:
【要約】【課題】 3次元対応の変角光度測定装置において、入射角と受光角のいずれか一方をある一定の角に固定して変角光度を測定する。【解決手段】 受光ユニット37は、パルスモータ31の駆動により、試料24の試料面法線(鉛直軸)を中心に回転され、且つ、パルスモータ34の駆動により、所定の水平軸を中心に図1において前後方向に回転される。光源ユニット29は、パルスモータ26の駆動により、所定の水平軸を中心に図1において前後方向に回転される。光源ユニット29の鉛直軸を中心とする回転は、パルスモータ22の駆動により、試料24がその試料面法線を中心に回転することにより、代行される。このように、光源ユニット29と受光ユニット37とは別々に回転制御され、これにより入射角と受光角のいずれか一方をある一定の角に固定して変角光度を測定することができる。
請求項(抜粋):
試料の試料面法線を含む平面上において光源ユニットの前記試料に対する入射極角または受光ユニットの前記試料に対する受光極角を所定角度に設定するステップと、前記試料の試料面法線に垂直な平面上において前記光源ユニット前記試料に対する入射方位角および前記受光ユニットの前記試料に対する受光方位角をそれぞれ所定角度に設定するステップとを含み、前記光源ユニットと前記受光ユニットのいずれか一方を前記試料の試料面法線に垂直な平面上において該試料面法線を中心とする第1の円軌道上を回転させ、あるいは前記試料の試料面法線を含む平面上において前記試料を中心とする第2の円軌道上を回転させ、所定の回転位置において、前記光源ユニットから発せられた入射光線が前記試料で反射され、その反射光からなる受光光線が前記受光ユニットで受光されることを特徴とする変角光度測定方法。
IPC (2件):
G01J 3/50 ,  G01M 11/00
FI (2件):
G01J 3/50 ,  G01M 11/00 T
Fターム (8件):
2G020AA08 ,  2G020DA04 ,  2G020DA12 ,  2G020DA22 ,  2G020DA31 ,  2G020DA42 ,  2G020DA52 ,  2G086EE10
引用特許:
審査官引用 (3件)
  • 特開平4-077633
  • 特公昭44-030557
  • 特開平3-165238

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