特許
J-GLOBAL ID：200903006673891237
表面・界面原子配列解析装置の方位調整機構
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-033624
公開番号（公開出願番号）：特開平6-242028
出願日： 1993年02月23日
公開日（公表日）： 1994年09月02日
要約：
【要約】【目的】本発明は、高い位置決め精度を有し、且つ広範囲の試料方位(面内回転およびあおり角)にわたる測定が可能な材料の表面・界面原子配列解析装置の方位調整機構を提供することを目的とする。【構成】本発明は、X線回折測定、X線定在波測定による試料の表面・界面の原子の配列を解析する装置の真空状態のチャンバ内に設置されるものであり、試料1を取り付ける回転可能なホルダ2と、ホルダ2を面内回転(φ軸)する所定数のパルス数で定まった回転をするパルスモータ3と、ホルダ2が取付けられる半円筒形状のアーム4と、ホルダ2をアーム4に沿ってあおり角(χ軸)移動させるパルスモータ5と、前記アーム4と軸(ω軸)7とが連結し外部から回転伝達する大型ゴニオメータと、散乱X線の検出器をのせた回転アーム(2θ軸)8とで構成される表面・界面原子配列解析装置の方位調整機構である。
請求項（抜粋）：
試料の表面・界面の原子配列を解析する表面・界面原子配列解析装置装置の真空チャンバ内に設置される方位調整機構において、試料を載置するホルダと、前記ホルダを所定数のパルス信号により所定角度に面内回転(φ軸)させる面内回転手段と、前記ホルダと面内回転手段を半円筒形状のアームの搭載し、所定数のパルス信号による所定あおり角(χ軸)に回転させるあおり角回転手段と、前記あおり角回転手段に連結して真空チャンバ外部からの回転を伝達し、散乱X線の検出器を搭載する回転アーム(2θ軸)手段とを具備し、真空チャンバ外部から内部へ気密導入した1つの回転軸上に電動モータ駆動方式の試料面内回転軸と試料あおり角回転軸を取付けることを特徴とする材料の表面・界面原子配列解析装置の方位調整機構。
引用特許：
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