特許
J-GLOBAL ID：200903006686221150
脱気モジュールの液漏れ検出装置
発明者：
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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-269490
公開番号（公開出願番号）：特開平9-085011
出願日： 1995年09月22日
公開日（公表日）： 1997年03月31日
要約：
【要約】【課題】 脱気モジュールの異常を判定する水漏れ検出装置を提供する。【解決手段】 液体供給部1と処理液給配部2との間の液体供給ライン3に脱気モジュール4を挿入し、この脱気モジュール4と真空ポンプ5との間の真空吸引ライン6に気液分離器7を設け、この気液分離器7に液位センサ8を設けるとともに排液ライン9を接続し、この排液ライン9に分離液の貯留,排出を制御する電磁弁10を設けた構成。
請求項（抜粋）：
液体供給部1と処理液給配部2との間の液体供給ライン3に脱気モジュール4を挿入し、この脱気モジュール4と真空ポンプ5との間の真空吸引ライン6に気液分離器7を設け、この気液分離器7に液位センサ8を設けるとともに排液ライン9を接続し、この排液ライン9に分離液の貯留,排出を制御する電磁弁10を設けたことを特徴とする脱気モジュールの液漏れ検出装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
B01D 19/00 G
, G01M 3/00 F
