表面発光型レーザーダイオード

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：富村潔
公報種別：公表公報
出願番号（国際出願番号）：特願平6-512758
公開番号（公開出願番号）：特表平8-503817
出願日： 1993年11月24日
公開日（公表日）： 1996年04月23日
要約：

【要約】可調整表面発光型レーザーダイオードにおいて、TTGレーザーダイオードのように活性層(5)と調整層(3)とが接触層(2、6)の間に互いに横方向に配置され、これらの層は中央層(4)により互いに隔離され、その結果周囲の半導体材料を適切にドープすることによりこれらの層が別々に制御されるとともに、ビーム発生のために設けられた領域の上部において半導体材が薄い金属膜(7)を備えた立体的な周期構造を備え、レーザーダイオードの作動の際表面からの放出が表面プラズモンポラリトンの励起により指向されて行われ、この放出の波長を調整することによりこの放出方向が変えられるようにした。

請求項（抜粋）：

中央層(4)によって隔てられた2つの層を備え、これらの層は平行かつ層面に関して互いに横方向に配置され、種々のエネルギーバンドギャップを持つ半導体材料からなり、これらの層の中の1つは活性層(5)として、他の1つは調整層(3)として設けられ、導電的に接触部(11、12、13、18)と接続されて、活性層(5)及び調整層(3)にそれぞれ別々に電流の注入が行われるように構成されており、さらに立体的な周期構造を備え、この周期構造は層面に関して活性層(5)におけるビーム発生を行わせるために設けられた領域に対して横方向に配置された最外側の半導体層の表面の領域に設けられ、少なくとも部分的に金属膜(7)で覆われ、その際この構造の高さ(h)及び構造のそれぞれの周期の長さ(Lg)、前記金属膜(7)から活性層(5)までの最小距離(a)及びこの金属膜(7)の厚さ(d)が、レーザーダイオードの作動時に活性層(5)の反対側の金属膜(7)の表面に表面モードが活性層(5)に生じた光子により励起されるように設定され、さらにまたレーザー共振を得るための手段とを備えた可調整表面発光型レーザーダイオード。

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