特許
J-GLOBAL ID：200903006700231082
膜厚の制御された無機超薄膜の製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
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代理人 (1件)：
筒井 知
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-353446
公開番号（公開出願番号）：特開平10-167707
出願日： 1996年12月16日
公開日（公表日）： 1998年06月23日
要約：
【要約】【課題】 無機化合物の微粒子の層を任意の順序で且つ任意の厚さで含む無機超薄膜を得る。【解決手段】 無機化合物(例えば、金属酸化物)のコロイド粒子の溶液および該コロイド粒子と反対の電荷を有する有機高分子イオンの溶液中に固体担体を交互に浸漬することにより固体担体上に無機化合物の微粒子と有機高分子イオンとを含む層が交互に積層、固定化されている超薄膜を製造するに当たり、無機化合物コロイド粒子の溶液の濃度を変化させることにより無機化合物微粒子の層の膜厚を制御する超薄膜の製造方法。無機化合物コロイド粒子溶液のコロイド粒子径および/またはイオン強度を変化させることによっても無機化合物微粒子層の膜厚を制御する。均一な厚さの無機化合物の微粒子層を含む無機超薄膜が得られる。
請求項（抜粋）：
無機化合物のコロイド粒子の溶液および該コロイド粒子と反対の電荷を有する有機高分子イオンの溶液中に固体担体を交互に浸漬することにより固体担体上に無機化合物の微粒子と有機高分子イオンとを含む層が交互に積層、固定化されている超薄膜を製造するに当たり、無機化合物コロイド粒子の溶液の濃度を変化させることにより無機化合物微粒子の層の膜厚を制御することを特徴とする超薄膜の製造方法。
IPC (5件)：
C01B 13/14
, C01B 33/12
, C01F 17/00
, C01G 23/04
, C09K 3/00
C01B 13/14 A
, C01B 33/12 C
, C01F 17/00 A
, C01G 23/04 C
, C09K 3/00 C
