特許
J-GLOBAL ID：200903006704832617
MgO焼結体、その製造方法及びMgO薄膜
発明者：
出願人/特許権者：
,
代理人 (1件)：
渡辺 徳廣
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-261162
公開番号（公開出願番号）：特開平11-092212
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年04月06日
要約：
【要約】【課題】 真空成膜の際に破損微粒物の飛び散りや成膜速度の経時変化がなく、また密着性が良く結晶性の高い膜質を高い成膜速度で得られるMgO焼結体、その製造方法を提供する。【解決手段】 Y2 O3 とAl2 O3 をMgO l00重量部に対してそれぞれ0.05〜2.0重量部、0.025〜1.0重量部含有するMgO焼結体およびその製造方法。
請求項（抜粋）：
MgO焼結体において、Y2 O3 とAl2 O3 を含有することを特徴とするMgO焼結体。
IPC (2件)：
FI (2件)：
C04B 35/04 Z
, C23C 14/28
