感光性樹脂組成物及びその用途

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出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-207562
公開番号（公開出願番号）：特開平6-027665
出願日： 1992年07月09日
公開日（公表日）： 1994年02月04日
要約：

【要約】【目的】めっき浴浸漬時のレジストの銅基板への密着性が良く、めっきもぐりも少ないという耐めっき性に優れ、かつめっき剥離工程におけるレジストの剥離分散性にも優れた感光性樹脂組成物及びそれを用いたドライフィルムレジスト用積層体を提供すること。【構成】ベースポリマー、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含んでなる樹脂組成物においてベースポリマーに(メタ)アクリル酸エステル40〜80重量%、(メタ)アクリル酸15〜40重量%及び2-(1-ヒドロキシメチル)アクリル酸アルキルエステル2〜40重量%よりなるアクリル系共重合体を用いた感光性樹脂組成物

請求項（抜粋）：

ベースポリマー、エチレン性不飽和化合物及び光重合開始剤を含んでなる樹脂組成物においてベースポリマーが(メタ)アクリル酸エステル40〜80重量%、(メタ)アクリル酸15〜40重量%及び2-(1-ヒドロキシメチル)アクリル酸アルキルエステル2〜40重量%よりなるアクリル系共重合体であることを特徴とする感光性樹脂組成物

IPC (7件)：

G03F 7/033 , C23F 1/00 102 , C25D 5/02 , G03F 7/004 512 , G03F 7/027 502 , G03F 7/028 , H05K 3/00

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