特許

J-GLOBAL ID：200903006717744237

アクティブ除振装置

発明者： 深川 容三
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 伊東 哲也 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-075033
公開番号（公開出願番号）：特開平11-257417
出願日： 1998年03月10日
公開日（公表日）： 1999年09月21日
要約：

【要約】【課題】 加速度センサを搭載することなく、感度の高い加速度計測手段を実現し、高性能で安価なアクティブ除振装置を提供する。【解決手段】 位置決めステージを搭載した定盤、該定盤を支持するアクチュエータ、該定盤の加速度を計測する手段、および計測された加速度に基づいて前記アクチュエータを駆動し前記位置決めステージの移動に基づく前記定盤の振動を速やかに減衰させるように制御する制御手段を具備するアクティブ除振装置において、前記加速度を計測する手段を、前記ステージの駆動力を計測する手段、該ステージと前記定盤との相対距離を計測する測長器、および該測長器の計測値を時間で2回微分した値と前記駆動力の値との線形和を算出する演算器により構成する。

請求項（抜粋）：

位置決めステージを搭載した定盤の振動を速やかに減衰させるように制御するアクティブ除振装置において、ステージの駆動力を計測する手段、ステージと定盤との相対距離を計測する測長器、および前記測長器の計測値を時間で2回微分した値と前記駆動力の値との線形和を算出する演算器を備えたことを特徴とするアクティブ除振装置。

IPC (3件)：

F16F 15/02 ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/027

FI (3件)：

F16F 15/02 A ,  G03F 7/20 521 ,  H01L 21/30 502 Z