特許
J-GLOBAL ID：200903006724017952
観察装置、被検マーク検出装置及び露光装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
猪熊 克彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-120033
公開番号（公開出願番号）：特開平11-295608
出願日： 1998年04月13日
公開日（公表日）： 1999年10月29日
要約：
【要約】【課題】被検物体の特性の如何にかかわらず、常に精度良く被検物体を観察することができる観察装置を提供する。【解決手段】対物光学系18を介して被検物体WMを照明する照明光学系11〜15と、被検物体WMから発する光束を対物光学系18を介して集光する結像光学系20〜26とを備える観察装置において、照明光学系は、透光部12aと遮光部12bとからなる照明開口絞り12を有し、結像光学系は、照明開口絞り12の透光部12aと共役な第1領域23aと、遮光部12bと共役な第2領域23bとを有し、両領域23a、23bの間に第1の位相差を与える第1の位相差付与部材23と、照明開口絞り12の透光部12aと共役な第3領域24aと、遮光部12bと共役な第4領域24bとを有し、両領域24a、24bの間に第1の位相差とは異なる第2の位相差を与える第2の位相差付与部材24とを有する。
請求項（抜粋）：
対物光学系を介して被検物体を照明する照明光学系と、前記物体から発する光束を前記対物光学系を介して集光する結像光学系とを備える観察装置において、前記照明光学系は、透光部と遮光部とからなる照明開口絞りを有し、前記結像光学系は、前記照明開口絞りと共役な位置近傍に配置可能に設けられて、前記透光部と共役な第1領域と前記遮光部と共役な第2領域とを有し、前記第1領域及び前記第2領域の間に第1の位相差を与える第1の位相差付与部材と、前記照明開口絞りと共役な位置近傍に配置可能に設けられて、前記透光部と共役な第3領域と前記遮光部と共役な第4領域とを有し、前記第3領域及び第4領域の間に前記第1の位相差とは異なる第2の位相差を与える第2の位相差付与部材と、を有することを特徴とする観察装置。
IPC (4件)：
G02B 21/00
, G02B 27/02
, G03F 9/00
, H01L 21/027
G02B 21/00
, G02B 27/02 Z
, G03F 9/00 Z
, H01L 21/30 525 R
