特許
J-GLOBAL ID：200903006727322004
高性能エアフィルタ
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
船橋 国則
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-136054
公開番号（公開出願番号）：特開平5-305212
出願日： 1992年04月28日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：
【要約】【目的】 高性能エアフィルタの塵埃捕集効率を向上させ、かつクリーンエアの流れを改善して塵埃捕集性能を向上させる。【構成】 処理室5の略円形の給気用開口を塞いで設ける高性能エアフィルタ7の枠体8を前記給気用開口と略対応させて円形状に形成し、前記枠体8内に配設された濾材9のデッドゾーンをなくした。
請求項（抜粋）：
半導体装置の製造処理を行う処理室の略円形の給気用開口を塞いで設けられる高性能エアフィルタにおいて、内側に濾材を配設したフィルタの枠体を前記給気用開口と略対応させて略円形状に形成したことを特徴とする高性能エアフィルタ。
IPC (2件)：
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