特許
J-GLOBAL ID：200903006728357588
電子エネルギ分析装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
▲柳▼川 信
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-244509
公開番号（公開出願番号）：特開平11-086783
出願日： 1997年09月10日
公開日（公表日）： 1999年03月30日
要約：
【要約】【課題】 電子エネルギ分析装置の検出感度をより向上させる。【解決手段】 エネルギ分解能が従来のものと比べて劣らない程度の大きさのX線検出器7を、複数まとめて単一の冷却棒8で冷却する。【効果】 複数のX線検出器7に対し、液体窒素を貯蔵するタンク等を1つ設ければ良いので、より多くのX線検出器7を設置でき、それゆえ検出効率が向上する。
請求項（抜粋）：
単一の冷却装置によって冷却される複数のX線検出器を含むことを特徴とする電子エネルギ分析装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
引用特許：
審査官引用 (3件)
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電子顕微鏡
公報種別：公開公報
出願番号：特願平7-027878
出願人：株式会社日立製作所
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特開平3-246862
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特開昭55-003129
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