特許
J-GLOBAL ID:200903006729962396

ガス濃度測定装置

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 渡辺 正康 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平6-204899
公開番号(公開出願番号):特開平8-068732
出願日: 1994年08月30日
公開日(公表日): 1996年03月12日
要約:
【要約】【目的】センサの特性とは無関係に、ガス濃度に比例した出力および広いダイナミックレンジを有するガス濃度測定装置を実現する。【構成】試料ガスとゼロガスを混合する混合器と、この混合器に導入する試料ガスの流量を調節する流量調節手段と、前記混合器に導入するゼロガスの流量を調節する流量調節手段と、内部に設置されたガスセンサにより前記混合器から出力される希釈ガスの濃度レベルを検出するセンサセルと、前記ガスセンサの出力が予め設定した値になるように前記2つの流量調節手段を制御する制御回路と、この制御回路の制御信号に基づいて試料ガスの濃度を求める演算回路を備える。
請求項(抜粋):
導入される試料ガスとゼロガスを混合するための混合器と、この混合器に導入する試料ガスの流量を調節するための第1の流量調節手段と、前記混合器に導入するゼロガスの流量を調節するための第2の流量調節手段と、内部に設置されたガスセンサにより前記混合器から出力される希釈ガスの濃度レベルを検出するセンサセルと、前記ガスセンサの出力が予め設定した値になるように前記2つの流量調節手段を制御する制御回路と、この制御回路の制御信号に基づいて試料ガスの濃度を求める演算回路を具備したことを特徴とするガス濃度測定装置。
IPC (2件):
G01N 1/00 101 ,  G01N 27/12

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