特許
J-GLOBAL ID：200903006732045027
半導体製造設備用ころがり軸受
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
江原 省吾 (外3名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-263483
公開番号（公開出願番号）：特開2000-087982
出願日： 1998年09月17日
公開日（公表日）： 2000年03月28日
要約：
【要約】【課題】 電子ビーム描画装置におけるマスク等の周辺機器・装置の軸受として好適で、低発塵性かつ耐久性に優れるころがり軸受の提供を目的とする。【解決手段】 合成樹脂基材に潤滑成分を分散保持させた固形状の潤滑組成物5を軸受内部に収容する。潤滑組成物5は、潤滑油または潤滑グリースと、超高分子量ポリオレフィン粉末とを含む混合物し、潤滑グリースの基油または潤滑油はアルキルシクロペンタン系油とする。
請求項（抜粋）：
軸受部品が非磁性材料で形成された軸受であって、合成樹脂基材に潤滑成分を分散保持させた固形状の潤滑組成物を軸受内部に収容した半導体製造設備用ころがり軸受。
Fターム (15件)：
3J101AA03
, 3J101AA32
, 3J101AA42
, 3J101AA51
, 3J101AA62
, 3J101BA10
, 3J101BA50
, 3J101BA70
, 3J101EA06
, 3J101EA44
, 3J101EA63
, 3J101EA67
, 3J101FA31
, 3J101FA44
, 3J101GA55
