酸化物センサ

発明者： ,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：千葉剛宏 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-025573
公開番号（公開出願番号）：特開平9-288085
出願日： 1997年02月07日
公開日（公表日）： 1997年11月04日
要約：

【要約】【課題】被測定ガスに含まれる酸化物を極めて高精度に測定することができ、しかも、小型で安価な酸化物センサを提供する。【解決手段】第1室60における内側ポンプ電極64の下流方向端部(第2の拡散律速部58側の端部)に対して、測定電極72を-3t≦d≦3tとなる距離d(d:第1室60から第2室76に至る正方向に対する下流方向端部からの測定電極72の距離、t:第1室60の高さ)に配設する。測定電極72を用いて第1室60内の酸素分圧を測定し、その測定値V1に基づいて主ポンプセル68をフィードバック制御することで、第1室60内の酸素分圧を制御した後、第2室62に被測定ガスを導入し、検出電極82あるいは触媒により被測定ガスに含まれる酸化物を分解し、それによって発生する酸素分圧を測定して酸化物の濃度を求める。

請求項（抜粋）：

外部空間に接する固体電解質と該固体電解質の内外に形成された内側ポンプ電極及び外側ポンプ電極とを有し、かつ、前記外部空間から導入された被測定ガスに含まれる酸素を、前記電極間に印加される制御電圧に基づいてポンピング処理する主ポンプ手段と、固体電解質と該固体電解質に形成された内側検出電極と前記固体電解質の前記内側検出電極とは反対側に形成された外側検出電極とを有し、かつ、前記主ポンプ手段にてポンピング処理された後の被測定ガスに含まれる酸素を、前記内側検出電極と前記外側検出電極間に印加される測定用電圧に基づいてポンピング処理する測定用ポンプ手段と、前記測定用ポンプ手段によりポンピング処理される前記酸素の量に応じて生じるポンプ電流を検出する電流検出手段と、固体電解質と前記主ポンプ手段における前記内側ポンプ電極と対向するように前記固体電解質に形成された内側測定電極と前記固体電解質の前記内側測定電極とは反対側に形成された外側測定電極とを有し、かつ、前記主ポンプ手段のポンピング処理による酸素分圧と基準酸素分圧との差に応じて生じる酸素濃淡電池起電力を測定する濃度測定手段と、前記濃度測定手段にて検出される前記酸素濃淡電池起電力が所定の値になるように前記制御電圧のレベルを調整する主ポンプ制御手段とを具備し、前記主ポンプ手段におけるポンピング処理空間の下流方向を正方向とし、該ポンピング処理空間の高さをt、前記主ポンプ手段における前記内側ポンプ電極の下流側端部と前記濃度測定手段における前記内側測定電極の中心部との投影距離をdとしたとき、-3t≦dを満足する位置に前記内側測定電極が配設され、前記電流検出手段にて検出された前記ポンプ電流に基づいて前記被測定ガス中の酸化物を測定することを特徴とする酸化物センサ。

IPC (2件)：

G01N 27/416 , G01N 27/419

FI (5件)：

G01N 27/46 331 , G01N 27/46 327 H , G01N 27/46 327 N , G01N 27/46 327 E , G01N 27/46 376

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