特許
J-GLOBAL ID：200903006738344255
磁気ディスク加工装置
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
田辺 良徳
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平10-044194
公開番号（公開出願番号）：特開平11-232644
出願日： 1998年02月12日
公開日（公表日）： 1999年08月27日
要約：
【要約】【課題】微妙な調整を短時間に行うことができると共に微妙な加工条件を満足させることができる。【解決手段】磁気ディスク2をチャックして回転するスピンドルと、磁気ディスク1に対応して設けられた通気性の有る加工用テープ9A、9Bと、加工用テープ9A、9Bに対応して設けられたエアーバリア用テープ6A、6Bと、エアーバリア用テープ6A、6Bにエアー5を吹き付けるエアーノズル4A、4Bとを備え、エアーノズル4A、4Bよりエアー5をエアーバリア用テープ6A、6Bに吹き付け、該エアーバリア用テープ6A、6Bを介して加工用テープ9A、9Bを磁気ディスク2に圧接させる。
請求項（抜粋）：
磁気ディスクをチャックして回転するスピンドルと、前記磁気ディスクに対応して設けられた通気性の有る加工用テープと、この加工用テープに対応して設けられたエアーバリア用テープと、このエアーバリア用テープにエアーを吹き付けるエアーノズルとを備え、エアーノズルよりエアーを前記エアーバリア用テープに吹き付け、該エアーバリア用テープを介して加工用テープを磁気ディスクに圧接させることを特徴とする磁気ディスク加工装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
G11B 5/84 A
, B24B 21/00 B
