特許
J-GLOBAL ID：200903006738369444
ダイヤモンドの製造法及び装置
発明者：
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
内田 明 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-176762
公開番号（公開出願番号）：特開平5-124895
出願日： 1991年07月17日
公開日（公表日）： 1993年05月21日
要約：
【要約】【目的】 ダイヤモンドの気相合成において熱フィラメントCVD法による製造法及び装置を改良する。【構成】 ダイヤモンドを気相合成するための原料ガスを高温加熱した熱電子放射材で分解,励起,活性化し熱電子放射材の近傍に設置した基材表面にダイヤモンドを析出するに際し、熱電子放射材の周囲を冷却板で取り囲み、該冷却板と熱電子放射材の中間に該基材を小さい間隙を設けて設置し、該熱電子放射材に面する基材の表面温度を該冷却板及び要すればバッファー材により調節しながらダイヤモンドを析出させる製法及びそのようにした装置である。更にはDCプラズマ法を併用する。熱電子放射材の複数本を鉛直に一平面をなすように張り熱電子放射材の面を形成することで大きなダイヤモンド形成面積が実現でき、コンパクトで生産性が高く、高品質ダイヤを工業的規模で生産可能とした。
請求項（抜粋）：
炭化水素、酸素及び/または窒素をその結合基に含有する炭化水素、酸化炭素、ハロゲン化炭素及び固体炭素の中から選ばれる少なくとも一つ以上の炭素源と水素及び要すれば周期律表第VIII族の不活性ガス、H2 O、O2 、F2 のいずれかとからなる原料ガスを高温加熱した熱電子放射材で分解,励起,活性化し、熱電子放射材の近傍に設置した基材表面にダイヤモンドを析出させるダイヤモンドの製造法において、高温加熱する熱電子放射材の周囲を冷却板で取り囲み、該冷却板と該熱電子放射材の中間にダイヤモンドを析出させる基材を小さな間隙を設けて設置し、該熱電子放射材に面する基材表面温度を冷却板及び要すれば該冷却板と該基材の間に入れたバッファー材により調節しながらダイヤモンドを析出させることを特徴とするダイヤモンドの製造法。
引用特許：
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