特許
J-GLOBAL ID:200903006741130169

ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液の処理方法

発明者:
出願人/特許権者:
代理人 (1件): 伊藤 武久 (外1名)
公報種別:公開公報
出願番号(国際出願番号):特願平5-026946
公開番号(公開出願番号):特開平6-240475
出願日: 1993年02月16日
公開日(公表日): 1994年08月30日
要約:
【要約】【目的】 エッチング工程で発生する余剰の塩化ニッケル及び塩化第1鉄を含むエッチング液から、簡単な操作で、しかも低い運転コストで、金属ニッケル、金属鉄を回収し、発生する塩素ガスを安全に有効利用して当該液を再生する。【構成】 ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液を隔膜電解法で処理し、陰極でニッケル及び鉄を電析回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスを塩化第1鉄含有のエッチング液に導き、当該液を酸化する。
請求項(抜粋):
ニッケルを含む塩化鉄系のエッチング液を隔膜電解法で処理し、陰極でニッケル及び鉄を電析回収するとともに、陽極室で発生する塩素ガスを塩化第1鉄含有のエッチング液に導き、当該液を酸化することを特徴とするエッチング液の処理方法。
IPC (3件):
C23F 1/46 ZAB ,  C02F 1/46 ZAB ,  C02F 1/461
引用特許:
審査官引用 (5件)
  • 特開昭55-018558
  • 特開昭55-002763
  • 特開昭59-190367
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