特許

J-GLOBAL ID：200903006741920763

スパッタ膜、液晶素子及びこれらの製造方法

発明者： 沢村 光治
出願人/特許権者： キヤノン株式会社
代理人 (1件)： 渡辺 敬介 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平9-074791
公開番号（公開出願番号）：特開平10-265951
出願日： 1997年03月27日
公開日（公表日）： 1998年10月06日
要約：

【要約】【課題】 カラーフィルタ上に有機樹脂からなる保護膜を設けた液晶素子基板の該保護膜上に、枚葉式スパッタ装置によりITO膜を成膜する際に、異常放電によるターゲットや基板の損傷を防止し、且つ成膜時に上記保護膜から発生するガスによるITOの膜質低下を防止する。【解決手段】 枚葉式スパッタ装置のスパッタ室において、ターゲット11と基板12との間に第三電極18を設置し、該第三電極18の電位を0〜60Vに制御してスパッタを行なう。

請求項（抜粋）：

少なくとも、一つ以上の基板搬入搬出室、一つ以上のスパッタ室、及び該基板搬入搬出室とスパッタ室との間を連絡する搬送室を備えた枚葉式スパッタ装置を用いたスパッタ膜の製造方法において、上記スパッタ室内のターゲットと基板との間に、該ターゲット及び基板とは異なる電位に制御した第三電極を設けてスパッタを行なうことを特徴とするスパッタ膜の製造方法。

IPC (6件)：

C23C 14/44 ,  C23C 14/08 ,  C23C 14/34 ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/203 ,  H01L 21/285

FI (6件)：

C23C 14/44 ,  C23C 14/08 D ,  C23C 14/34 U ,  G02F 1/1343 ,  H01L 21/203 S ,  H01L 21/285 S