特許

J-GLOBAL ID：200903006747242805

基板検査装置

発明者： 岩本 博光
出願人/特許権者： 日本電気株式会社
代理人 (1件)： 高橋 勇
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-137986
公開番号（公開出願番号）：特開平5-307059
出願日： 1992年04月30日
公開日（公表日）： 1993年11月19日
要約：

【要約】【目的】 基板と検査用治具との適正検査位置を予め決定した補正データに基づいて自動的に行なうこと。【構成】 予め良品であることが確認されている基板3をテーブル6にセットしコンタクトプローブピン8を有する検査治具2をエアーシリンダ1を介して下降させた後、導通検査を行なう。導通検査が良となるまで位置決めモータ4,5を作動させてテーブル6を渦巻状に移動させるようになっている。導通検査が良となった後は、X方向にテーブル6を移動し、適正位置と不適正位置とを求めてX方向補正データを決定し、Y方向も同様のシーケンスY方向補正データを決定する。以後の基板検査は、これらデータに基づいて所定位置にセットされるようになっている。

請求項（抜粋）：

テーブル上に配置された基板に対応するコンタクトプローブピンを備えた検査治具と、この検査治具を基板に対して昇降させる昇降手段と、前記テーブルをX,Y方向に移動させるための一対の位置決めモータと、これらモータを駆動する制御部とを備え、この制御部はX,Y方向における基板の適正位置および不適正位置をそれぞれ決定するデータを記憶するデータ機能と、これらデータに基づき決定される補正データを記憶する機能とを備え、この補正データに基づいて位置決めモータを駆動制御することを特徴とする基板検査装置。

IPC (6件)：

G01R 31/02 ,  G06F 15/62 405 ,  G12B 5/00 ,  H01L 21/66 ,  H01L 21/68 ,  H05K 13/08