特許

J-GLOBAL ID：200903006752465294

反射鏡及びX線露光装置

発明者： 長田 俊彦
出願人/特許権者： 富士通株式会社
代理人 (1件)： 岡本 啓三
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-275819
公開番号（公開出願番号）：特開平5-114547
出願日： 1991年10月23日
公開日（公表日）： 1993年05月07日
要約：

【要約】【目的】反射鏡及びX線露光装置に関し、特に、光源から発せられる光を反射させる反射鏡及びシンクロトロン軌道放射光(SOR光)を光源として、当該反射鏡を用いるX線露光装置の提供を目的とする。【構成】反射面がトロイダル形状であって、かつ、光源Sから発生された光を反射する反射鏡RMであって、前記光源Sから反射鏡RMまでの距離L、前記反射鏡RMから光源Sを見た視斜角αとしたときに、前記反射鏡RMの一方の曲率半径R1がR1=2αLで与えられ、かつ、前記反射鏡RMの他方の曲率半径R2がR2=2L/αで与えられることを含み構成する。

請求項（抜粋）：

反射面がトロイダル形状であって、かつ、光源(S)から発生された光を反射する反射鏡(RM)であって、前記光源(S)から反射鏡(RM)までの距離(L)、前記反射鏡(RM)から光源(S)を見た視斜角(α)としたときに、前記反射鏡(RM)の一方の曲率半径(R1)がR1=2αLで与えられ、かつ、前記反射鏡(RM)の他方の曲率半径(R2)がR2=2L/αで与えられることを特徴とする反射鏡。

IPC (5件)：

H01L 21/027 ,  G01K 1/06 ,  G02B 5/10 ,  G03F 7/20 503 ,  G03F 7/20 521