特許

J-GLOBAL ID：200903006755160958

平面度測定装置

発明者： 山内 洋
出願人/特許権者： 株式会社オハラ
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平3-272054
公開番号（公開出願番号）：特開平5-079828
出願日： 1991年09月24日
公開日（公表日）： 1993年03月30日
要約：

【要約】【目的】 寸法形状上あるいは材質上、表面変形し易い板状被検体の平面度を測定表面の大小、撓みやソリ等の大小、表面の光沢・非光沢、あるいは被検体材料の透光性、非透光性等を問わず、また表面を傷つけることなく高効率、高精度で測定し得る装置を提供すること。【構成】 板状被検体11を着脱可能、かつ垂直に固定する固定機構10、被検体の少なくとも一面に対向する超音波探触子12、13、上記固定機構と探触子を収容する液漕14、超音波距離計、上記探触子のXY駆動機構、上記距離計により測定した探触子走査平面-被検体測定面間距離と探触子走査平面-被検体測定基準平面間距離の差を上記XY駆動機構の走査位置情報と同期させて被検体測定面の平面度として演算する演算機構、および演算結果表示機構を備えたことを特徴としている。

請求項（抜粋）：

板状被検体を脱着可能かつ垂直に固定する固定機構、上記被検体の両主要面の測定されるべき少なくとも一面に対向する超音波探触子、上記固定機構および超音波探触子を収容する液漕、上記探触子と上記被検体測定面間の距離を測定する超音波距離計、上記探触子を上記被検体測定面の周辺部に設定した任意の3点を含む測定基準平面に対向する平行平面に走査させるXY駆動機構、上記距離計により測定した探触子走査平面からこの走査平面に対向する被検体測定面と上記測定基準平面までの距離の差を上記XY駆動機構の走査位置情報と同期させて被検体測定面の平面度として演算する演算機構および演算結果表示機構を備えたことを特徴とする平面度測定装置。

IPC (3件)：

G01B 17/00 ,  G01B 21/30 101 ,  G01N 29/26 501

引用特許：

審査官引用 (2件)

• 特開昭61-266907
  
• 特開昭61-018805