強誘電体層の製造方法

発明者： , ,
出願人/特許権者：
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2006-264908
公開番号（公開出願番号）：特開2007-173777
出願日： 2006年09月28日
公開日（公表日）： 2007年07月05日
要約：

【課題】誘電特性の面内均一性に優れた強誘電体層の製造方法の提供。【解決手段】比較的平均一次粒子径の大きい、板状の結晶性微粒子を湿式で粉砕して、平均一次粒子径が20〜100nmの結晶性微粒子が液状媒体中に分散した分散液を得る工程と、該分散液と、加熱により強誘電性酸化物を形成する可溶性金属化合物とを含む流動性組成物を基体上に塗布し、200〜500°Cで加熱して第1の層41を形成する工程と、前記可溶性金属化合物と、液状媒体とを含み、結晶性微粒子を実質的に含まない流動性組成物を第1の層41上に塗布し、500°C超で加熱して第2の層42を形成する工程と、をこの順に行う。【選択図】図1

請求項（抜粋）：

下記工程A〜Cを含むことを特徴とする強誘電体層の製造方法。工程A:平均一次粒子径が100nm以上で、アスペクト比が2以上の板状の形状を有する強誘電体の結晶性微粒子を湿式で粉砕して、平均一次粒子径が20〜100nmの結晶性微粒子が液状媒体中に分散した分散液を得る工程。工程B:前記分散液と、加熱により強誘電性酸化物を形成する可溶性金属化合物とを含む流動性組成物を基体上に塗布し、200〜500°Cで加熱して第1の層を形成する工程。工程C:加熱により強誘電性酸化物を形成する可溶性金属化合物と、液状媒体とを含み、前記結晶性微粒子を実質的に含まない流動性組成物を前記第1の層上に塗布し、500°C超で加熱して第2の層を形成する工程。

IPC (4件)：

H01L 21/316 , H01L 21/824 , H01L 27/105 , C04B 35/46

FI (4件)：

H01L21/316 B , H01L27/10 444C , H01L21/316 M , C04B35/46 C

Fターム (27件)：

4G031AA09 , 4G031AA11 , 4G031AA35 , 4G031BA09 , 4G031CA08 , 4G031GA01 , 4G031GA03 , 4G031GA04 , 4G031GA11 , 4G048AA03 , 4G048AB02 , 4G048AC02 , 4G048AD04 , 4G048AE05 , 5F058BA20 , 5F058BC03 , 5F058BD05 , 5F058BF46 , 5F058BH03 , 5F058BJ04 , 5F083FR01 , 5F083JA17 , 5F083JA38 , 5F083JA39 , 5F083JA43 , 5F083PR23 , 5F083PR33

引用特許：

出願人引用 (1件)

国際公開第2005/010636号パンフレット

前のページに戻る