特許
J-GLOBAL ID：200903006761259214
光結合構造とその製造方法
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
本庄 伸介
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-190370
公開番号（公開出願番号）：特開平7-043542
出願日： 1993年07月30日
公開日（公表日）： 1995年02月14日
要約：
【要約】【目的】 煩雑な工程を必要とせずに作製でき、光導波路と光ファイバの高効率結合を可能にする構造の提供。【構成】 光導波路と光ファイバの結合構造において光ファイバに接する導波路端面近傍部分が基板の表面より上方に、その基板に対して間隙を置いているこのような構造の採用により従来導波路端面下において出現していた(111)面による光ファイバとの結合の妨害が生じないようにすることができる。
請求項（抜粋）：
V溝および光導波路が設けられた結晶基板と、一つの端部が前記V溝に収められて前記光導波路に光結合する位置で前記V溝に固着されている光ファイバとでなり、前記V溝が異方性エッチングで形成されている光結合構造において、前記光ファイバに光結合する前記光導波路の端部が前記V溝の側縁より上側にあって該V溝に臨んでいることを特徴とする光結合構造。
引用特許：
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