特許
J-GLOBAL ID：200903006767208085
表面電位計及び形状測定器、力顕微鏡
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
樺山 亨 (外1名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平7-052409
公開番号（公開出願番号）：特開平8-248081
出願日： 1995年03月13日
公開日（公表日）： 1996年09月27日
要約：
【要約】【目的】この発明は、測定誤差を大幅に減少でき、測定を精度良く安定して行うことができ、感度やS/N比を向上できて測定物の表面電位と表面形状を独立に測定でき、かつ、異なる周波数の振動振幅の検出に対する感度やS/N比を向上できるようにすることを目的とする。【構成】 この発明は、導電性探針12と測定物13との間の静電引力により生ずるバネ11の第2振動状態から、バネ11の機械的共振周波数での加振により生ずる第1振動より測定した導電性探針12と測定物13の表面との間の距離の測定結果を補正する補正手段52〜54を備えたものである。
請求項（抜粋）：
測定物に対向配置される導電性探針を先端部に設けたバネを、該バネに機械的に結合したアクチュエータにより前記バネの機械的共振周波数で加振して前記バネに第1振動を生じさせ、前記導電性探針に交流電圧を印加することにより前記導電性探針と前記測定物との間に静電引力を生じさせて該静電引力により前記バネに第2振動を生じさせ、前記第1振動の振幅の減少から前記導電性探針と前記測定物の表面との間の距離を測定し、前記第2振動から前記測定物の表面電位を測定する表面電位計及び形状測定器において、前記第2振動状態から、前記第1振動より測定した前記導電性探針と前記測定物の表面との間の距離の測定結果を補正する補正手段を備えたことを特徴とする表面電位計及び形状測定器。
IPC (4件)：
G01R 29/12
, G01B 7/34
, G01N 37/00
, H01J 37/28
G01R 29/12 F
, G01B 7/34 Z
, G01N 37/00 H
, H01J 37/28 Z
