特許

J-GLOBAL ID：200903006770810535

クリーンユニット

発明者： 佐々木 幸雄
出願人/特許権者： アルプス電気株式会社
代理人 (2件)： 棚井 澄雄 ,  志賀 正武
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2004-156118
公開番号（公開出願番号）：特開2005-340435
出願日： 2004年05月26日
公開日（公表日）： 2005年12月08日
要約：

【課題】 隔壁を用いずにクリーンカプセル内を清浄な環境に保つことができ、かつ、容易に物品を出し入れすることが可能なクリーンユニットを提供する。【解決手段】 パスボックス32、33の内部容積をクリーンボックス11の内部容積よりも小さくなるように形成し、かつ、メイン除塵ユニット12がクリーンボックス11に向けて送り込む空気の流速よりも、サブ除塵ユニット46、47からパスボックス32、33に向けて空気を送り込む空気の流速を速く設定する。【選択図】 図1

請求項（抜粋）：

空気を除塵するメイン除塵ユニットから送り出される除塵された空気が流入するクリーンボックスと、前記クリーンボックスに隣接して配置され、空気を除塵するサブ除塵ユニットから送り出される除塵された空気が流入するパスボックスを少なくとも1つ以上有し、 前記パスボックスの内部容積が前記クリーンボックスの内部容積よりも小さくなるように前記パスボックスを形成するとともに、前記メイン除塵ユニットから前記クリーンボックスに送り出される空気の流速よりも、前記サブ除塵ユニットから前記パスボックスに送り出される空気の流速が速くなるように設定したこと特徴とするクリーンユニット。

IPC (3件)：

H01L21/02 ,  B01D46/00 ,  F24F7/06

FI (3件)：

H01L21/02 D ,  B01D46/00 F ,  F24F7/06 C

Fターム (5件)：

3L058BE02 ,  3L058BF01 ,  4D058JA13 ,  4D058SA04 ,  4D058UA25

引用特許：

出願人引用 (1件)

• クリーンルームのポッド用インターフェースチャンバ
  公報種別：公開公報   出願番号：特願平11-105380   出願人：株式会社大氣社