特許

J-GLOBAL ID：200903006783836703

モータのブレーキ回路、モータ駆動装置、ステージ装置、露光装置、及び半導体デバイスの製造方法

発明者： 本告 龍造
出願人/特許権者： 株式会社ニコン
代理人 (1件)： 細江 利昭
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願2002-376645
公開番号（公開出願番号）：特開2004-208454
出願日： 2002年12月26日
公開日（公表日）： 2004年07月22日
要約：

【課題】被駆動物が非常停止限を超えて走行した場合に、早急にモータを停止させることができるモータのブレーキ回路を提供する。【解決手段】ブレーキ信号が「H」レベルとなるとAND回路31の反転入力が「L」レベルとなるので、AND回路31の出力は「L」レベルとなる。これにより、FET35はオフとなる。また、OR回路33の一方の入力であるブレーキ信号が「H」レベルであるので、FET36はオンとなる。これにより、3相リニアモータ23のU相コイル23U、V相コイル23V、W相コイル23Wは短絡され、ダイナミックブレーキが働く。また、インバータ37の出力が「L」レベルとなるので、トランジスタ38はオフとなり、リレー39のコイルの励磁が解ける。そのため、リレー接点39bはオンとなる。これにより、3相リニアモータ23のU相コイル23U、V相コイル23V、W相コイル23Wは短絡され、ダイナミックブレーキが働く。【選択図】 図2

請求項（抜粋）：

モータの巻線への配線を電気的に短絡することによって、モータにブレーキをかけるモータのブレーキ回路であって、モータを駆動するスイッチング回路のスイッチング素子を使用してモータの巻線への配線を電気的に短絡する第1の回路と、リレー接点によりモータの巻線への配線を電気的に短絡する第2の回路を有し、前記第2の回路を構成するリレーの接点は、B接点であることを特徴とするモータのブレーキ回路。

IPC (4件)：

H02P3/12 ,  G03F7/20 ,  H01L21/027 ,  H02P7/00

FI (4件)：

H02P3/12 G ,  G03F7/20 521 ,  H02P7/00 101S ,  H01L21/30 516B

Fターム (19件)：

5F046CC01 ,  5F046CC02 ,  5F046CC13 ,  5F046CC18 ,  5H530AA05 ,  5H530BB33 ,  5H530CC06 ,  5H530CD12 ,  5H530CE13 ,  5H530CE15 ,  5H530CF03 ,  5H530DD13 ,  5H530DD14 ,  5H540AA06 ,  5H540BA04 ,  5H540DD02 ,  5H540DD07 ,  5H540FA14 ,  5H540FA24