特許
J-GLOBAL ID：200903006787613911
走査型レーザー顕微鏡
発明者：
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出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
鈴江 武彦
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平5-328473
公開番号（公開出願番号）：特開平7-181394
出願日： 1993年12月24日
公開日（公表日）： 1995年07月21日
要約：
【要約】【目的】低速シャッタ-を用いる場合であっても、画像入力直後の褪色及びY方向のずれを生じることのない走査型レーザー顕微鏡を提供する。【構成】光源12から射出されたレーザービームは、これをx方向とy方向に走査する走査ユニット16に入射する。走査ユニット16からのレーザービームはシャッター18を介してレンズ20に入射し試料22に集光される。シャッター18は、走査開始と同時に開いてビームを通過させるよう走査コントローラー44により制御される。試料22からの光はレンズ24に入射し、補正ユニット26で光軸ずれが補正された後、レンズ28で集光され、ピンホール30を通過して光検出器32に入射する。コントローラー46は光検出器32の出力と走査コントローラー44からの位置情報とに基づいて試料観察像を構築し、TVモニター50に表示する。
請求項（抜粋）：
レーザービームを射出する光源と、レーザービームを走査する走査手段と、レーザービームを試料に照射する照射手段と、試料と共役な位置に置かれたピンホールと、ピンホールを通過した光を受光する光検出器と、光検出器の出力を取り込み画像を形成する画像形成手段とを備えている走査型レーザー顕微鏡において、上記照射手段は、レーザービームを適宜遮断するシャッターとシャッターの開閉を制御する手段とを有し、走査手段は、シャッターを開くと同時に上記画像を形成する領域の外でビームの走査を開始し、上記画像形成手段が画像を取り込む前に上記領域内でビ-ムを走査することを特徴とする走査型レーザー顕微鏡。
IPC (2件)：
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