圧電アクチュエータの制御方法

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：大川宏
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-014849
公開番号（公開出願番号）：特開平5-206535
出願日： 1992年01月30日
公開日（公表日）： 1993年08月13日
要約：

【要約】【目的】電圧印加時のそれぞれの圧電素子の変位量を増大させるとともに、圧電アクチュエータとして常に変位量を一定に制御する。【構成】圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で圧電板のキュリー温度未満の温度範囲に制御するとともに、圧電板の抗電圧以上の電圧を印加して作動させる圧電アクチュエータの制御方法であって、温度範囲の制御は、圧電アクチュエータの静電容量を検知することで圧電アクチュエータの現実の温度を間接的に検知して行う。変位量が増大するとともに、圧電アクチュエータ全体の平均温度を検知できるので温度範囲を精度良く制御でき、変位量を一定に制御できる。

請求項（抜粋）：

圧電板と電極板とを交互に複数枚積層してなる圧電アクチュエータを、該圧電板の残留分極が低下し始める温度以上で該圧電板のキュリー温度未満の温度範囲に制御するとともに、該圧電板の抗電圧以上の電圧を印加して作動させる圧電アクチュエータの制御方法であって、前記温度範囲の制御は、前記圧電アクチュエータの静電容量を検知することで該圧電アクチュエータの現実の温度を間接的に検知して行うことを特徴とする圧電アクチュエータの制御方法。

引用特許：

審査官引用 (2件)

特開昭63-201577
特開昭61-161470

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