特許
J-GLOBAL ID：200903006797207890
α,β-不飽和ニトリルを有する脂環式多環族とメタクリレート誘導体との共重合体
発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
寒川 誠一
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-173129
公開番号（公開出願番号）：特開平6-016730
出願日： 1992年06月30日
公開日（公表日）： 1994年01月25日
要約：
【要約】【目的】 新規な重合体に関し、薄膜化等の加工が容易であり、遠紫外領域における光の透過度が高く、半導体製造におけるフォトレジストにも適した共重合体を提供することを目的とする。【構成】 1-(1′-シアノエテニル)アダマンタンとメタクリレート誘導体とを重合するか、または、2-ノルボルネン-2-カルボニトリルとメタクリレート誘導体とを重合する。
請求項（抜粋）：
下記式(1)【化1】但し、Rはt-ブチル基またはテトラヒドロピラニル基である。で示される繰り返し単位を有することを特徴とする1-(1′-シアノエテニル)アダマンタンとメタクリレート誘導体との重合体。
IPC (3件)：
C08F220/18 MLY
, C08F220/44 MMX
, C08F232/08 MNV
