特許

J-GLOBAL ID：200903006797584472

耐摩耗性硬質被膜およびその製造方法

発明者： 大橋 正和 ,  千葉 祐二
出願人/特許権者： 住友金属鉱山株式会社
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-273372
公開番号（公開出願番号）：特開平6-101018
出願日： 1992年09月18日
公開日（公表日）： 1994年04月12日
要約：

【要約】【目的】 TiNおよびTiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> からなる多層被膜で接合強度に優れる耐摩耗性硬質被膜およびその製造方法を提供する。【構成】 金属材料上に、TiN被膜とTiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜の多層被膜を被覆した耐摩耗性硬質被膜であって、TiN被膜は0.1〜3μm、TiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜が3層で、x+y=1で該TiN被膜の最近接層では0.25≦x≦0.35で膜厚は0.2μm以上1.0μm以下、中間層でのxは0よりも大きく、かつ最近接層のxよりも小さく、その膜厚が0.2μm以上1.0μm以下で、最表面層のxが0.35<x≦1.5で、膜厚が0.2μm以上1.5μm以下である4層構造である。上記被膜はイオンプレーティング法で形成される。

請求項（抜粋）：

金属材料上に、TiN被膜とTiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜の多層被膜を被覆した耐摩耗性硬質被膜であって、該TiN被膜が0.1μm以上3μm以下の膜厚であり、該TiN被膜上にTiC<SB>x</SB> N<SB>y</SB> 被膜が3層被覆され、該TiC<SB>x</SB>N<SB>y</SB> 被膜層の炭素濃度xと窒素濃度yとの関係がx+y=1でかつ、該TiN被膜との最近接層では0.25≦x≦0.35の範囲で、膜厚が0.2μm以上1.0μm以下で、また中間層でのxが、0よりも大きく、該最近接層のxよりも小さく、膜厚が0.2μm以上1.0μm以下で、また最表面層のxが0.35<x≦0.5の範囲で、膜厚が0.2μm以上1.5μm以下である4層構造を有することを特徴とする耐摩耗性硬質被膜。