角速度センサ

発明者：
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：五十嵐清
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-351998
公開番号（公開出願番号）：特開平6-174739
出願日： 1992年12月09日
公開日（公表日）： 1994年06月24日
要約：

【要約】【目的】量産性に優れ、微小型で高精度な角速度センサを提供する。【構成】半導体基板3を用いて、直交する第1の梁1と第2の梁2を交差固定部18を中心として第1の梁1の両サイド表面に振動励振器5a,5bを、第2の梁2の両サイド表面に振動検出器6a,6bをそれぞれ形成し、さらに交差固定部18の裏面側に振動子4を形成する。これらの部分1,2,5a,5b,6a,6b,4は全て半導体微細加工にて形成できるので角速度センサを高精度に微小化できる。振動励振器5に交流信号を加えて梁1を二次モードで振動させ、この状態で角速度センサが紙面に直交する軸周りに回転すると梁2が撓み振動検出器6に歪みが生じ、この歪みによる検出器6a,6b間の電圧差を角速度信号として出力する。

請求項（抜粋）：

基板上に両端固定の第1の梁と第2の梁とが直角に交差して形成され、第1の梁と第2の梁との交差固定部には振動子が設けられ、第1の梁と第2の梁との少なくとも一方側には梁を励振して振動子を振動させる振動励振器が設けられており、第1の梁と第2の梁の少なくとも他方側には角速度によって振動子に発生する振動を検出する振動検出器が設けられている角速度センサ。

IPC (2件)：

G01P 9/04 , G01C 19/56

引用特許：

出願人引用 (4件)

特開平4-232875
特表平5-502945
特表平6-508684

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審査官引用 (1件)

特開平4-232875

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