特許

J-GLOBAL ID：200903006809207793

ネガ型放射感応性混合物、およびこの混合物を使用して製造した放射感応性記録材料

発明者： ホルスト、レシェルト ,  ゲオルク、パウロスキー ,  ユルゲン、フックス
出願人/特許権者： ヘキスト・アクチェンゲゼルシャフト
代理人 (1件)： 佐藤 一雄 (外2名)
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平4-124075
公開番号（公開出願番号）：特開平5-197150
出願日： 1992年04月17日
公開日（公表日）： 1993年08月06日
要約：

【要約】 (修正有)【目的】 解像度,感度,熱安定性が高く、照射により腐食性光分解物を生成しないネガ型放射感応性混合物、およびこの混合物を使用して製造した放射感応性記録材料を提供する。【構成】 a)活性線放射の作用により強酸を発生する化合物、b)酸により架橋し得る少なくとも2個の基を有する化合物、およびc)水に不溶で、アルカリ水溶液に可溶である、または少なくとも膨潤し得る重合体結合剤を含むネガ型放射感応性混合物であって、化合物(a)が、2または3個の(ヘテロ)アリールスルホン酸によりエステル化された2,4,6-トリス-(2-ヒドロキシ-エトキシ)-[1,3,5-]トリアジンである。

請求項（抜粋）：

a)活性線放射の作用により強酸を発生する化合物、b)酸により架橋し得る少なくとも2個の基を有する化合物、およびc)水に不溶で、アルカリ水溶液に可溶である、または少なくとも膨潤し得る重合体結合剤を含むネガ型放射感応性混合物であって、化合物(a)が、2または3個の(ヘテロ)アリールスルホン酸によりエステル化された2,4,6-トリス-(2-ヒドロキシ-エトキシ)-[1,3,5]トリアジンであることを特徴とする、ネガ型放射感応性混合物。

IPC (5件)：

G03F 7/038 505 ,  G03F 7/00 501 ,  G03F 7/004 503 ,  G03F 7/028 ,  H01L 21/027