特許
J-GLOBAL ID：200903006818275807
光波干渉測定装置
発明者：
,
,
出願人/特許権者：
代理人 (1件)：
山口 孝雄
公報種別：公開公報
出願番号（国際出願番号）：特願平8-271427
公開番号（公開出願番号）：特開平10-096601
出願日： 1996年09月20日
公開日（公表日）： 1998年04月14日
要約：
【要約】【課題】 光路中の気体の密度変動および湿度変動に伴う屈折率変動に起因する測定誤差を補正することのできる高精度な光波干渉測定装置。【解決手段】 物体の変位量を光学的に測定するための測定光学系と、測定光学系の光路中の気体の密度変動および湿度変動に伴う屈折率変動を測定するための屈折率変動測定系とを備えている。そして、測定光学系で測定した物体の変位量を屈折率変動測定系で測定した光路中の気体の屈折率変動情報に基づいて補正することによって物体の幾何学的変位量を測定する。
請求項（抜粋）：
物体の変位量を光学的に測定するための測定光学系と、前記測定光学系の光路中の気体の密度変動および湿度変動に伴う屈折率変動を測定するための屈折率変動測定系とを備え、前記測定光学系で測定した前記物体の変位量を前記屈折率変動測定系で測定した前記光路中の気体の屈折率変動情報に基づいて補正することによって前記物体の幾何学的変位量を測定することを特徴とする光波干渉測定装置。
IPC (2件)：
FI (2件)：
前のページに戻る
